«Микрону» поручили за 1,5 млрд импортозаместить оборудование для измерения рассовмещения топологических слоев на кремниевых пластинах

Как выяснил CNews, входящий в микроэлектронную группу «Элемент» — «Микрон» займется разработкой автоматизированной установки измерения рассовмещения топологических слоев на кремниевых пластинах диаметром 150 и 200 мм. За работу компания получит 1,56 млрд руб., следует из портала госзакупок.

Разработку под шифром «Лучник» заказал Минпромторг зимой 2025 г., выделив на эти цели 1,61 млрд руб. То есть падение в цене контракта составило 48,3 млн руб.

В конкурсе участвовали две компании (имя второй не раскрывается в документах).

«Микрон» должен будет разработать аналог американской установки ARCHER 10 XT производства KLA TENCOR (США), следует из технического задания проекта.

Название американской установки Archer в переводе на русский полностью совпадает с шифром работ на создание ее аналога — «Лучник».

Работы должны быть закончены до 31 июля 2029 г.

Разрабатываемое оборудование должно автоматически измерять рассовмещение топологических слоев на кремниевых пластинах диаметром до 200 мм по меткам совмещения с проектными нормами до 130 нм. Установка, в том числе, должна сканировать структуры слоев посредством интерферометра, встроенного в оптическую колонну, формировать пакет данных для коррекции процесса экспонирования и пр.

Производительность установки не должна быть менее 75 пластин в час.

Эксперты отмечают, что проект трудный. «Это разработка весьма сложной высокотехнологичной установки на стыке оптики, прецизионной механики и электроники, а также необходимого ПО, — рассказал независимый эксперт и автор Telegram-канала RUSmicro Алексей Бойко. — Уровень сложности — топовый, в чем-то близкий к разработке фотолитографа».

Рассовмещение слоев требуется контролировать с точностью до нанометров, а погрешность измерений должна быть еще меньшей, говорит Бойко. От оптики требуется высокая числовая апертура. Те же сверхвысокие требования предъявляются и к предметному столику, перемещения которого должны осуществляться и контролироваться с нанометровой точностью. А способность установки работать с пластинами разного диаметра умножает все проблемы проектирования установки, заключил он.

Ключевой вызов заключается в разработке алгоритмов машинного зрения, которые за миллисекунды должны обрабатывать изображения меток совмещения с учетом шумов и особенностей рельефа, а также в интеграции системы в реальную производственную линию, где на точность влияют вибрации, перепады температур и необходимость работы в автоматическом режиме без участия оператора, рассказала эксперт компании Strategy Partners Анна Васильева.

«Сумма в 1,56 млрд рублей выглядит адекватным бюджетом именно на опытно-конструкторскую работу, а не на стоимость серийной машины», — рассказал глава «Троичных технологий» Александр Тимошенко.

«Сроки разработки выбраны очень смело. Основной проблемой (если нет задела и нужно разрабатывать с нуля, может стать оптика), — говорит Бойко. — Я бы назвал выбранные сроки чрезмерно жесткими, можно в них и не вписаться (если нет задела)».

С ним соглашается и Васильева. «Чтобы уложиться, нужна уже готовая научная база и слаженная работа без сбоев с поставками компонентов», — считает эксперт.

Однако, по мнению Тимошенко, большим плюсом будет то, что «Микрон» выступает и разработчиком, и конечным потребителем: наличие собственной линии на 200 мм позволит обкатывать установку в реальном производстве, что сильно повышает шансы уложиться в директивный срок до 2029 г.

Сообщение «Микрону» поручили за 1,5 млрд импортозаместить оборудование для измерения рассовмещения топологических слоев на кремниевых пластинах появились сначала на Время электроники.