![](https://29ru.net/datas/images/favicons/1898.png)
[Перевод] Ведущие производители чипов присматриваются к фотолитографии в глубоком ультрафиолете
EUV-сканер ASML NXE:3300B распечатывает чипы в лаборатории политехнического института SUNY
Даже после того, как вы натянули защитный костюм и проникли в цех Fab 8, его масштаб сложно оценить. Многие ряды высоких машин-«инструментов», занимают большую часть места на фабрике GlobalFoundries стоимостью $12 млрд, построенной в лесу г. Олбани штата Нью-Йорк. Тележки с кремниевыми подложками снуют под потолком по рельсам, проложенным наверху, будто небольшие тележки на американских горках. Если повезёт... Читать дальше...